ECU 环境补偿模块实时监测环境参数，自动补偿空气折射率带来的测量误差，维持微探头激光干涉仪高精度测量。

领聚科技的高测速系列激光干涉仪，可支持多自由度运动台的高速超精密位移测量：0.02nm分辨力、2.7m/s测量速度和 10MHz 动态更新率。 可实现对光刻机等高端装备精密运动台的高精度、动态、实时6自由度同步测量。 HSI系列激光干涉系统可以实现对 Keysight、ZYGO 同类产品的原位替代。

超精密微探头激光干涉仪

领聚科技的激光尺系列产品，激光源和光纤连接的激光发射头，因此可提高测量精度，节省安装空间，并简化安装和设定过程。 该系列产品可分别用于广泛应用于需要对位移进行实时精密反馈及控制的工业制造过程中，支持灵活定制，提供高真空等兼容场景版本，为用户提供提供高分辨率的位置反馈