领聚科技的微探头激光干涉仪是一款专为皮米级点位移测量研发的精密仪器。依托哈工大激光团队二十余年的技术转化，系统采用 1532nm 专属光源架构，在分辨率、长期稳定性及极端环境适应性上具备成熟的技术表现。 面对半导体光刻及微纳计量等高要求应用场景，该系统的核心测试指标可直接对齐国际成熟品牌的产品标准，为国内高端装备制造提供自主可控的测量方案。