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精密运动平台的纳米级位移监测与定位反馈
精密运动平台在装配、调试和连续运行过程中,需要准确掌握平台的实际位移。尤其在设备内部空间有限、测量位置靠近运动部件时,常规测量装置往往难以安装。该场景将微型光纤探头布置在平台侧面或测量基座上,对运动平台的目标反射面进行非接触测量,连续记录平台在启停、往复运动和稳定保持阶段的位置变化。领聚科技微探头激光干涉仪采可为平台装调、重复定位验证、闭环控制提供连续、稳定的位移数据。
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