领聚科技的高测速系列激光干涉仪，可支持多自由度运动台的高速超精密位移测量：0.02nm分辨力、2.7m/s测量速度和 10MHz 动态更新率。 可实现对光刻机等高端装备精密运动台的高精度、动态、实时6自由度同步测量。 HSI系列激光干涉系统可以实现对 Keysight、ZYGO 同类产品的原位替代。