以光刻机为代表的高端装备工件台在高速扫描、定位与曝光切换过程中，需要同时控制水平位移、垂直位移以及微小角度变化。任何方向上的位置偏差或姿态波动，都可能影响图形对准、重复定位和长期运行稳定性。该场景通过布置在不同方向的多路激光测量光路，连续获取工件台各自由度的动态位移，并将结果用于运动控制、误差修正和设备状态验证。领聚科技高速激光干涉仪支持25轴以上同步测量，测量速度可达2.7 m/s，数据更新率达10 MHz，测量分辨力低于20 pm，可在高速运动条件下提供连续、及时且稳定的位置反馈，满足精密工件台多自由度姿态监测需求。