高端精密装备对位移测量系统的速度、精度与可靠性提出了极为严苛的要求。领聚科技依托哈工大深厚的光学精密测量技术积累，为光刻机、超精密运动台及超精密机床等高端设备提供实时、多自由度的激光干涉位移测量解决方案，全面满足高端装备对精密位置控制与动态反馈的核心需求，助力国产高端装备实现自主可控的精密测量能力。