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应用于高速精密运动系统动态位移验证
高速精密运动系统在正式集成到设备前,需要完成测量光路搭建、运动轴对准、有效行程检查及动态性能验证,确认各测量组件在连续高速运动过程中能够稳定协同工作。该场景以精密运动平台为被测对象,通过布置激光干涉测量组件,连续采集平台运行过程中的位移变化,检查运动速度、重复定位、多轴同步及异常波动等状态。高速激光干涉仪能够提供快速、连续且稳定的位移数据,为系统参数调整、控制效果评估、整机联调及交付前验证提供可靠的测量依据。
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