性能参数
| 光源 | |
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真空波长精度 |
± 0.1 ppm (3年) |
| 激光频率稳定度 | ＜± 2×10-8 （8 hours） |
| 干涉结构 | |
| 测量距离 |
0-1 m (测量路) 0-0.5 m (参考路，固定) |
| 角度容差 | ± 25" |
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差分光束间距 |
14 mm |
| 信号处理 | |
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最大测量速度 |
1 m/s |
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ABZ信号分辨力 |
10 nm (速度＜ 0.2 m/s) 20 nm (0.2 nm＜ 速度＜ 0.4 m/s) 39.5 nm (0.4 nm＜ 速度＜ 0.8 m/s) 79 nm (速度＞ 0.8 m/s) |
| 位移分辨力 | 38.6 pm （配合位置编码器） |
| 残余非线性误差 | ≤± 6 nm （速度＜ 1 m/s 且干涉信号强度＞ 50%） |
| 输出接口 | |
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USB 接口 |
2 KHz 位移数据（可定制） |
| DB15 接口 |
ABZ 信号 （RS485 电平） sin/cos 原始信号 （1Vp-p） |
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