UPI皮米系列激光干涉仪
极致精度、臻于皮米
领聚科技UPI皮米系列激光干涉仪面向超精密位移测量与多自由度同步监测,可实现2.4 pm测量分辨力、20 pm噪声标准差和6轴同步测量。系统具有良好的长期稳定性与环境适应能力,适用于高端装备核心部件监测、超精密计量校准及前沿科学实验等场景,可为微小位移、振动和稳定性测量提供可靠数据支持。
超高分辨力:最高可达2.4 pm
超低测量噪声:标准差低至20 pm
高热稳定性:优于30 pm/mK
精密镜组:特殊定制非线性误差≤10 pm





性能参数
| pm级干涉光源 | |
| 波长准确度 | 10 ppb |
| 波长稳定性 | 0.8 ppb (3h) ± 8 ppb (lifetime) |
| 激光功率 | 850 μW |
| 激光频差 | 1 MHz |
| pm级干涉信号处理卡 | |
| 测量轴数 | 6 |
| 测量分辨力 | 2.4 pm |
测量速度 | 50 mm/s |
| 电子细分数 | 65536 |
| 数据更新率 | 10 KHz |
| pm级干涉镜组 | |
| 非线性误差 | 标品100~300 pm,特殊定制≤10 pm |
热稳定度 | 30 pm/mK |
| 角度容限 | 1mrad @300mm |
| 光学细分数 | 4 |





