UPI皮米系列激光干涉仪
UPI皮米系列激光干涉仪
极致精度、臻于皮米
领聚科技UPI皮米系列激光干涉仪面向超精密位移测量与多自由度同步监测,可实现2.4 pm测量分辨力、20 pm噪声标准差和6轴同步测量。系统具有良好的长期稳定性与环境适应能力,适用于高端装备核心部件监测、超精密计量校准及前沿科学实验等场景,可为微小位移、振动和稳定性测量提供可靠数据支持。
超高分辨力:最高可达2.4 pm
超低测量噪声:标准差低至20 pm
高热稳定性:优于30 pm/mK
精密镜组:特殊定制非线性误差≤10 pm
产品特性
突破极限的超低噪声
卓越的极低周期非线性
极佳的系统热稳定度
全球首发与深度定制

性能参数

pm级干涉光源
波长准确度
10 ppb
波长稳定性0.8 ppb (3h)  ±  8 ppb (lifetime)
激光功率850 μW
激光频差1 MHz
pm级干涉信号处理卡
测量轴数6
测量分辨力2.4 pm

测量速度

50 mm/s
电子细分数65536
数据更新率10 KHz
pm级干涉镜组
非线性误差
标品100~300 pm,特殊定制≤10 pm

热稳定度

30 pm/mK
角度容限1mrad @300mm
光学细分数4


应用场景
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公司信息
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13316436214
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