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量子化质量基准装置中的微小位移与稳定性测量
在千克量子基准的建立与复现过程中,需要准确测量装置运动部件在升降、平衡和速度测量阶段产生的微小位移,同时监测运动轨迹、轴线稳定性及多次运行的一致性。测量系统采用非接触光学方式,连续获取运动部件的位置、速度和微小振动,减少机械接触对测量过程的影响。领聚科技皮米激光干涉仪具备皮米级位移分辨能力,支持多轴同步测量,可用于真空环境下的位移监测、运动轨迹校准、稳定性评估和重复性验证,为质量基准量值的建立、复现与传递提供连续、稳定的位移测量数据。
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